ワイヤソー用スラリーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236017
公開番号（公開出願番号）：特開2014-083659
特許番号：特許第5888203号
出願日： 2012年10月25日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】分散媒と該分散媒中に分散する遊離砥粒とを含む、ワーク切断後の廃スラリーを再生利用したワイヤソー用スラリーの製造方法であって、前記分散媒に金属を捕獲するホスホン酸系キレート剤を添加し、ワーク切断後に、前記廃スラリー中に含まれる金属と前記ホスホン酸系キレート剤とが結合した錯体を、前記廃スラリー中から分離排出することを特徴とするワイヤソー用スラリーの製造方法。

IPC (4件)：

B24B 27/06 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01) , C09K 3/14 ( 200 6.01) , B28D 5/04 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B24B 27/06 D , H01L 21/304 611 W , C09K 3/14 550 C , C09K 3/14 550 Z , B28D 5/04 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

スラリー流通経路の洗浄液およびその洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-161602 出願人：株式会社SUMCO
切断砥粒およびそれを含む切断用組成物、ならびにその組成物を用いたシリコンウェーファーの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-095466 出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
ワイヤソー用スラリー
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-038233 出願人：株式会社SUMCO

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