特許
J-GLOBAL ID：201603014173718510

荷電粒子線装置

発明者：
奥村 大河

奥村 大河 について

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大嶋 卓

大嶋 卓 について

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大南 祐介

大南 祐介 について

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庄子 美南

庄子 美南 について

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久田 明子

久田 明子 について

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米山 明男

米山 明男 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-240748
公開番号（公開出願番号）：特開2016-103387
出願日： 2014年11月28日
公開日（公表日）： 2016年06月02日
要約：
【課題】透過荷電粒子線像によって試料内部構造の三次元位置関係や密度分布を正確に特定することができる荷電粒子線装置、試料観察方法を提供する。【解決手段】試料に一次荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、試料台500表面を一次荷電粒子線の光軸905と垂直でない角度に傾斜させた状態で当該試料台を回転可能な試料台回転部と、を有し、試料台500は試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出素子を含んで構成され、試料台回転部を複数の異なる角度に回転させた状態で試料に照射することにより、各角度に対応する試料の透過荷電粒子画像を取得する。【選択図】図6-2
請求項（抜粋）：
試料台に保持された試料に一次荷電粒子線を照射する荷電粒子光学鏡筒と、 前記試料台表面と前記一次荷電粒子線の光軸とのなす角を垂直でない角度に傾斜させた状態で当該試料台を回転することが可能な試料台回転部と、 前記試料台回転部の回転角度を制御する制御部と、を有し、 前記試料台は、前記試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出素子を含んで構成され、 前記試料台回転部を複数の異なる角度に回転させた状態で前記一次荷電粒子線を前記試料に照射することによって、各角度に対応する前記試料の透過荷電粒子画像を取得することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (7件)：
H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/22 ,  G01N 23/04
FI (7件)：
H01J37/20 A ,  H01J37/28 C ,  H01J37/26 ,  H01J37/147 A ,  H01J37/244 ,  H01J37/22 501A ,  G01N23/04 310
Fターム (28件)：
2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA07 ,  2G001LA01 ,  2G001MA05 ,  5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001AA06 ,  5C001BB03 ,  5C001BB07 ,  5C001CC01 ,  5C001CC03 ,  5C033EE08 ,  5C033NN03 ,  5C033SS02 ,  5C033SS04 ,  5C033SS07 ,  5C033SS10
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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