特許
J-GLOBAL ID：201603014592184135
静電クランプ状態の監視に基づく電荷集積
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-550748
公開番号（公開出願番号）：特表2016-508292
出願日： 2013年12月24日
公開日（公表日）： 2016年03月17日
要約：
1又は複数の電極を介して製品をクランプ表面に選択的、静電気的にクランプするように構成された静電クランプ監視システムを提供する。電源は静電クランプに電気的に接続されており、電源は静電クランプの1又は複数の電極にクランプ電圧を印加するように構成されている。データ取得システムは電源に接続され、1又は複数の電極に供給された電流を測定し、測定電流を規定するように構成されている。コントローラは測定電流を時間で積分し、製品と静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値を決定する。メモリは複数のクランプサイクルにわたってクランプ力に関連した電荷値を記憶し、複数の電荷値を規定し、コントローラは、クランプ力を決定しようとする時点で決定された電荷値と複数の電荷値との比較に基づいて静電クランプのクランプ力を決定する。
請求項（抜粋）：
1又は複数の電極を介して製品を該製品に結合するクランプ表面に選択的、静電気的にクランプするように構成された静電クランプと、
上記静電クランプに電気的に接続され、該静電クランプの上記1又は複数の電極にクランプ電圧を選択的に印加するように構成された電源と、
上記電源に動作可能に接続されており、上記1又は複数の電極に供給された電流を測定し、測定電流を規定するように構成されたデータ取得システムと、
上記測定電流を時間で積分し、上記製品と上記静電クランプとの間のクランプ力に関連した電荷値を決定するように構成されたコントローラと、
複数のクランプサイクルにわたって上記製品と上記静電クランプとの間の上記クランプ力に関連した上記電荷値を記憶して、複数の電荷値を規定するように構成されたメモリ、
とを備え、
上記コントローラは更に、上記静電クランプのクランプ力を決定するように構成されており、該クランプ力を決定しようとする時点で決定された電荷値と上記複数の電荷値との比較に基づいて、上記静電クランプのクランプ力を決定する、静電クランプ監視システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F131AA02
, 5F131BA23
, 5F131CA32
, 5F131EB14
, 5F131EB17
, 5F131KA03
, 5F131KA72
, 5F131KB30
, 5F131KB43
