グラフェン膜の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：大森純一 , 折居章 , 中村哲平 , 金子彩子 , 金山慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-120840
公開番号（公開出願番号）：特開2016-183421
出願日： 2016年06月17日
公開日（公表日）： 2016年10月20日
要約：

【課題】ロールツーロールを利用して高品質な薄膜を製造することが可能なグラフェン膜の製造方法を提供すること。【解決手段】本技術に係るグラフェン膜の製造方法は、銅からなる成膜対象物をロールツーロール機構にセットし、ロールツーロール機構によって成膜対象物を搬送し、成膜対象物に成膜材料を供給し、ロールツーロール機構によって成膜対象物に印加されている張力が銅において双晶変形が生じる張力以下に緩和された状態で、成膜対象物を加熱する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

銅からなる成膜対象物をロールツーロール機構にセットし、前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物を搬送し、前記成膜対象物に成膜材料を供給し、前記ロールツーロール機構によって前記成膜対象物に印加されている張力が銅において双晶変形が生じる張力以下に緩和された状態で、前記成膜対象物を加熱するグラフェン膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/44 , C01B 31/02 , C23C 16/26

FI (3件)：

C23C16/44 F , C01B31/02 101Z , C23C16/26

Fターム (21件)：

4G146AA01 , 4G146AB07 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC02 , 4G146BC09 , 4G146BC31A , 4G146BC31B , 4G146BC34B , 4G146DA03 , 4K030AA10 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030CA02 , 4K030CA17 , 4K030FA10 , 4K030GA14 , 4K030HA13 , 4K030JA20 , 4K030KA23 , 4K030KA39

引用特許：

出願人引用 (7件)

グラフィンロールトロールコーティング装置及びこれを用いたグラフィンロールトロールコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-237656 出願人：成均館大学校産学協力団
グラフェンのロールツーロール転写方法、それによるグラフェンロール、及びグラフェンのロールツーロール転写装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-534122 出願人：スンキュンクワンユニヴァーシティーファウンデーションフォーコーポレイトコラボレイション
特開平4-221073

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