特許
J-GLOBAL ID:201603015878017020
少なくとも1つの複酸化物混合結晶皮膜を有する皮膜システム
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-258080
公開番号(公開出願番号):特開2014-077201
特許番号:特許第6000233号
出願日: 2013年12月13日
公開日(公表日): 2014年05月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 加工物をコーティングするためのPVD皮膜システムであって、組成が(Me11-xMe2x)2O3である複酸化物の混合結晶皮膜を少なくとも1つ含み、Me1は、Al,Cr,Fe,Mn,Nb,Ti,SbあるいはVのうちの少なくとも1つの元素であり、Me2は、Cr、Fe、Li、Mg、Mn、Nb、Ti、SbあるいはVのうちの少なくとも1つの元素であり、前記元素Me1およびMe2が、それぞれ異なっている皮膜システムにおいて、
前記混合結晶皮膜は、化学量論量よりも少ない量の酸素を含有し、
前記混合結晶皮膜の結晶格子は、コランダム型構造を有し、
前記コランダム型構造は、X線回折で測定された前記混合結晶皮膜のスペクトルにおいて、少なくとも3本の、好適には4本の、特に好適には5本の、コランダム型構造に特有のラインによって特徴づけられることを特徴とする皮膜システム。
IPC (4件):
C23C 14/08 ( 200 6.01)
, C23C 14/24 ( 200 6.01)
, B23B 27/14 ( 200 6.01)
, B23C 5/16 ( 200 6.01)
FI (4件):
C23C 14/08 K
, C23C 14/24 F
, B23B 27/14 A
, B23C 5/16
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る