特許
J-GLOBAL ID：201603016161410947
感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 齋藤 都子
, 三間 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-057995
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190699
特許番号：特許第5999938号
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)フェノール樹脂、(B)感光性ジアゾナフトキノン化合物、(C)溶剤、及び(D)架橋剤を含む感光性樹脂組成物であって、該(A)フェノール樹脂は、下記一般式(1):
{式(1)中、aは、2又は3の整数であり、bは、0〜2の整数であり、2≦(a+b)≦4であり、R1は、炭素数1〜20の1価の有機基、ハロゲン原子、ニトロ基及びシアノ基から成る群から選ばれる1価の置換基を表し、bが2である場合には、2つのR1は、互いに同一であるか、又は異なっていてよく、そしてXは、不飽和結合を有していてもよい炭素数2〜10の2価の鎖状脂肪族基、炭素数3〜20の2価の脂環式基、下記一般式(2):
(式(2)中、pは、1〜10の整数である。)で表される2価のアルキレンオキシド基、及び芳香族基を有する2価の有機基から成る群から選ばれる少なくとも1つの2価の有機基を表す。}
で表される構造を有し、そして該(B)感光性ジアゾナフトキノン化合物は、下記一般式(3)〜(7):
{式(3)中、X1及びX2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜60の1価の有機基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜60の1価の有機基を表し、r1、r2、r3及びr4は、それぞれ独立に、0〜5の整数であり、r3及びr4の少なくとも1つは、1〜5の整数であり、r1+r3=5であり、そしてr2+r4=5である。}
{式(4)中、Zは、炭素数1〜20の4価の有機基を表し、X5、X6、X7及びX8は、それぞれ独立に、炭素数1〜30の1価の有機基を表し、r6は、0又は1の整数であり、r5、r7、r8及びr9は、それぞれ独立に、0〜3の整数であり、r10、r11、r12及びr13は、それぞれ独立に、0〜2の整数であり、そしてr10、r11、r12及びr13の少なくとも1つは、1又は2である。}
{式(5)中、r14は、1〜5の整数を表し、r15は、3〜8の整数であり、(r14×r15)個のLは、それぞれ独立に、炭素数1〜20の1価の有機基を表し、(r15)個のTは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基を表し、そして(r15)個のSは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基を表す。}
{式(6)中、Aは、脂肪族の3級又は4級炭素を含む2価の有機基を表し、そしてMは、2価の有機基を表す。}
{式(7)中、r17、r18、r19及びr20は、それぞれ独立に、0〜2の整数であり、r17、r18、r19及びr20の少なくとも1つは、1又は2であり、X10〜X19は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリル基及びアシル基から成る群から選択される少なくとも1つの1価の基を表し、そしてY1〜Y3は、それぞれ独立に、単結合、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CO2-、シクロペンチリデン、シクロヘキシリデン、フェニレン及び炭素数1〜20の2価の有機基から成る群から選択される少なくとも1つの2価の基を表す。}
から成る群から選択される少なくとも1つのヒドロキシ化合物の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル及び/又は1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルである、前記感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ( 200 6.01)
, G03F 7/022 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C08G 8/00 ( 200 6.01)
G03F 7/023 511
, G03F 7/022 601
, G03F 7/004 501
, C08G 8/00 Z
