特許
J-GLOBAL ID：201603017249405400
光学検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-535430
公開番号（公開出願番号）：特表2016-537638
出願日： 2014年08月15日
公開日（公表日）： 2016年12月01日
要約：
本発明は光学検出器に関する。光学検出器は、空間分解式に光ビームの少なくとも1つの特性を変更するように構成されており、且つ、各ピクセルを通過する光ビームの一部の少なくとも1つの光学特性を個別に変更するために各々が制御可能である複数のピクセルから成るマトリクスを有している、少なくとも1つの空間光変調器と、空間光変調器の複数のピクセルから成るマトリクスを通過した後の光ビームを検出し、且つ、少なくとも1つのセンサ信号を生成するように構成されている、少なくとも1つの光学センサと、異なる変調周波数を用いて、複数のピクセルのうちの少なくとも2つのピクセルを周期的に制御するように構成されている、少なくとも1つの変調装置と、変調周波数に関するセンサ信号の信号成分を求めるために周波数解析を実行するように構成されている、少なくとも1つの評価装置と、を含んでいる。
請求項（抜粋）：
光学検出器(110)において、
-空間分解式に光ビーム(136)の少なくとも1つの特性を変更するように構成されており、且つ、各ピクセル(134)を通過する前記光ビーム(136)の一部の少なくとも1つの光学特性を個別に変更するために各々が制御可能である複数のピクセル(134)から成るマトリクス(132)を有している、少なくとも1つの空間光変調器(114)と、
-前記空間光変調器(114)の複数のピクセル(134)から成る前記マトリクス(132)を通過した後の前記光ビーム(136)を検出し、且つ、少なくとも1つのセンサ信号を生成するように構成されている、少なくとも1つの光学センサ(116)と、
-異なる変調周波数を用いて、複数のピクセル(134)のうちの少なくとも2つのピクセルを周期的に制御するように構成されている、少なくとも1つの変調装置(118)と、
-前記変調周波数に関する前記センサ信号の信号成分を求めるために周波数解析を実行するように構成されている、少なくとも1つの評価装置(120)と、
を含んでいることを特徴とする、光学検出器(110)。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B11/00 A
, G01N21/27 A
, G01B11/00 H
2F065AA01
, 2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065AA21
, 2F065AA22
, 2F065AA31
, 2F065CC11
, 2F065CC14
, 2F065CC16
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF10
, 2F065FF31
, 2F065FF49
, 2F065GG04
, 2F065GG21
, 2F065HH04
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065LL01
, 2F065LL12
, 2F065NN01
, 2F065NN05
, 2F065PP24
, 2F065QQ25
, 2G059AA05
, 2G059EE04
, 2G059EE05
, 2G059EE12
, 2G059EE13
, 2G059FF01
, 2G059GG02
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059JJ05
, 2G059JJ06
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059PP06
出願人引用 (7件)
-
3次元形状測定方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-050566
出願人：株式会社オプトン
-
観察装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2011-241626
出願人：浜松ホトニクス株式会社
-
特開平2-236477
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