特許
J-GLOBAL ID：201603017530016790
黒鉛薄膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 安富国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-082781
公開番号（公開出願番号）：特開2013-212938
特許番号：特許第5905766号
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】厚さが2nm〜4.5μm、厚さ分布が±15%以内、25°Cにおけるa-b面方向の電気伝導度が25000S/cm以上である黒鉛薄膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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