特許
J-GLOBAL ID:201603017570148568

研磨パッド用極細繊維及び研磨パッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 為山 太郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-109522
公開番号(公開出願番号):特開2013-237107
特許番号:特許第5894006号
出願日: 2012年05月11日
公開日(公表日): 2013年11月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 熱水可溶性ポリエステルを海成分とした海島型複合繊維の海成分を除去することにより得られる極細繊維の製造方法であって、海成分が、5-ナトリウムスルホイソフタル酸をポリエステル全酸成分に対して7〜13モル%、イソフタル酸をポリエステル全酸成分に対して8〜35モル%、さらに数平均分子量4000〜12000のポリエチレングリコールをポリエステル全重量に対して1〜12重量%共重合させたポリエチレンテレフタレート系共重合ポリエステルであり、該極細繊維の平均直径が10〜2500nm、引張強度が1.0〜8.0cN/dtex、伸度が10〜100%であることを特徴とする研磨パッド用極細繊維の製造方法。
IPC (3件):
B24B 37/24 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  D01F 8/14 ( 200 6.01)
FI (3件):
B24B 37/00 R ,  H01L 21/304 622 F ,  D01F 8/14 Z
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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