研磨パッド及び研磨パッドの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 小谷昌崇 , 江川勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-023330
公開番号（公開出願番号）：特開2008-207325
出願日： 2008年02月01日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：

【課題】スクラッチの発生を抑制しながら、高い平坦性が得られる研磨を、研磨レートを長時間低下させずに行うことができる研磨パッドを提供することを目的とする。【解決手段】平均断面積が0.01〜30μm2の範囲である極細単繊維から構成される繊維束1から形成された繊維絡合体と、高分子弾性体2とを含有し、前記高分子弾性体の一部が前記繊維束の内部に存在して、前記極細単繊維を集束しており、空隙を除いた部分の体積割合が55〜95%の範囲であり、前記繊維絡合体と前記高分子弾性体との比率が、質量比で90/10〜55/45の範囲であり、前記高分子弾性体の吸水率が0.5〜8質量%の範囲であり、前記極細単繊維が、ガラス転移温度50°C以上で、且つ、吸水率が4質量%以下の熱可塑性樹脂から形成されている研磨パッドを用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平均断面積が0.01〜30μm2の範囲である極細単繊維から構成される繊維束から形成された繊維絡合体と、高分子弾性体とを含有し、前記高分子弾性体の一部が前記繊維束の内部に存在して、前記極細単繊維を集束しており、空隙を除いた部分の体積割合が55〜95%の範囲であり、前記繊維絡合体と前記高分子弾性体との比率が、質量比で90/10〜55/45の範囲であり、前記高分子弾性体の吸水率が0.5〜8質量%の範囲であり、前記極細単繊維が、ガラス転移温度50°C以上で、吸水率が4質量%以下の熱可塑性樹脂から形成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (10件)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 , D04H 3/00 , D04H 3/10 , D04H 3/14 , D06M 11/00 , D06M 11/01 , D06M 15/564 , D01F 8/04 , D01F 8/10

FI (12件)：

B24B37/00 Q , B24B37/00 M , H01L21/304 622F , D04H3/00 D , D04H3/00 F , D04H3/10 A , D04H3/14 A , D06M11/00 140 , D06M11/01 , D06M15/564 , D01F8/04 Z , D01F8/10 C

Fターム (37件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058DA12 , 3C058DA17 , 4L031AA14 , 4L031AA18 , 4L031AB11 , 4L031AB34 , 4L031BA09 , 4L031CA15 , 4L033AA07 , 4L033AB07 , 4L033AC15 , 4L033CA50 , 4L041AA07 , 4L041BA16 , 4L041BD11 , 4L041BD14 , 4L041BD20 , 4L041CA44 , 4L041CA55 , 4L041DD11 , 4L041DD14 , 4L041EE07 , 4L041EE14 , 4L047AA16 , 4L047AA21 , 4L047AA27 , 4L047AB03 , 4L047AB08 , 4L047AB10 , 4L047BA03 , 4L047CA05 , 4L047CB10 , 4L047CC16

引用特許：

出願人引用 (18件)

ポリウレタン発泡体の製造方法及び研磨シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-356009 出願人：東洋ゴム工業株式会社
研磨用パッド及びそれを用いた被研磨物の研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-103622 出願人：日立化成工業株式会社, 新神戸電機株式会社
研磨パッドとその製造方法並びにその研磨パッドを用いたウエハの研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-031551 出願人：ソニー株式会社

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審査官引用 (4件)

研磨用基布および研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-369738 出願人：帝人株式会社
研磨布
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-308650 出願人：東レ株式会社
多孔性研磨体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-295847 出願人：ジェイエスアール株式会社

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