除電用治具及びそれを用いた基板処理装置並びに基板処理装置の除電方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-219207
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140775
特許番号：特許第5932592号
出願日： 2012年10月01日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板処理装置の各部材や浮遊パーティクルを除電するための治具であって、基板処理装置の搬送機構により搬送可能であり、かつ、各処理モジュール内で載置可能な基板形状を有し、放電電極と、誘電電極と、これら放電電極と誘電電極の間に挟まれる誘電体とから構成されたイオン発生電極と、前記放電電極及び前記誘電電極に対して電圧を印加する高圧電源回路と、前記高圧電源回路へエネルギーを供給するバッテリと、を備えたことを特徴とする除電用治具。

IPC (3件)：