特許
J-GLOBAL ID：201603017628770302

マイクロリソグラフィのための投影露光装置に使用するファセットミラー

発明者：
ディンゲル ユードー

ディンゲル ユードー について

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エントレス マルティン

エントレス マルティン について

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ウェルバー アルミン

ウェルバー アルミン について

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ミュールベルガー ノルベルト

ミュールベルガー ノルベルト について

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バッハ フロリアン

バッハ フロリアン について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (8件)： 西島 孝喜 ,  弟子丸 健 ,  田中 伸一郎 ,  大塚 文昭 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  岸 慶憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-020985
公開番号（公開出願番号）：特開2016-075962
出願日： 2016年02月05日
公開日（公表日）： 2016年05月12日
要約：
【課題】マイクロリソグラフィのための投影露光装置における光束誘導光学構成要素としての使用のためのファセットミラー等を提供する。【解決手段】ファセットミラーは、複数の個別ミラーを有する。入射する照射光の個々の偏向に向けて、これらの個別ミラーは、各場合にこれらの個別ミラーを少なくとも1つの傾斜軸(x,y)の回りに個別に傾斜させることができるようにアクチュエータに接続される。アクチュエータに接続した制御デバイスは、個別ミラーの所定の群を各場合に少なくとも2つの個別ミラーを含む個別ミラー群へとグループ分けすることができるように構成される。この結果は、投影露光装置内に設けられた時に投影露光装置によって照射される物体視野の様々な照射幾何学形状を設定する変動性を高めるファセットミラーである。ファセットミラーを形成するための個別ミラーの様々な実施形態を説明する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
マイクロリソグラフィのための投影露光装置(1)の光学構成要素として使用するためのファセットミラー(13,14;47;64;67,70)であって、 複数の個別ミラー(21;69)、 を備え、 これらは、入射照射光(10)の個々の偏向に向けて、 それらが、個別作動によって少なくとも1つの傾斜軸(x,y)の回りに傾斜可能である、 方法で各場合に少なくとも1つのアクチュエータ(24)に接続され、 各場合に少なくとも2つの個別ミラーの個別ミラー群(19;31;32、33;34から37;38から45;46;48;50;60;61)への前記個別ミラー(21;69)の所定のグループ分けを設定することを可能にするような方法で構成され、前記アクチュエータ(24)に接続した制御デバイス(28)、 を更に備え、 前記制御デバイス(28)は、1つの個別ミラー群の個々の個別ミラーの動作が、前記個別ミラー群の残りの個別ミラーの動作と個々に異なる、ように動作する、 ことを特徴とするファセットミラー。
IPC (1件)：
G03F 7/20
FI (2件)：
G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521
Fターム (16件)：
2H197AA09 ,  2H197AA10 ,  2H197BA02 ,  2H197BA10 ,  2H197CA10 ,  2H197CB04 ,  2H197CB16 ,  2H197CB25 ,  2H197CB26 ,  2H197GA01 ,  2H197GA04 ,  2H197GA10 ,  2H197GA11 ,  2H197GA14 ,  2H197GA23 ,  2H197HA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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