特許
J-GLOBAL ID：201603018636050242
蒸気送達装置、その製造方法およびその使用方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-105228
公開番号（公開出願番号）：特開2012-244168
特許番号：特許第6008563号
出願日： 2012年05月02日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 送達装置、第1の比例バルブ、第1の流れ、第2の比例バルブ、第2の流れ、混合チャンバー、第3の流れ、化学センサー、第1の圧力/流量コントローラーおよび圧力センサーを含む送達システムであって;
前記第1の流れは、前記送達装置および前記第1の比例バルブを含み、
前記送達装置は入口ポートおよび出口ポートを有しており;前記送達装置は固体前駆体を収容しており;
前記第1の比例バルブは前記送達装置の前記入口ポートと連通しており;前記第1の比例バルブは適用される電圧に基づいて前記送達装置へのキャリアガスの第1の流れのフローを制御するように作動するものであり;
前記第2の流れは、前記第2の比例バルブを含み、
前記第2の比例バルブは前記送達装置の前記出口ポートと連通しており;前記第2の比例バルブは適用される電圧に基づいて前記送達装置へのキャリアガスの第2の流れのフローを制御するように作動するものであり;
前記混合チャンバーは前記送達装置の下流にあり、かつ前記第1の流れと前記第2の流れとを混合するように作動するものであり、第1の導管のフランジと前記混合チャンバーの面との間に形成されるチャンネルにおいて前記第1の流れおよび前記第2の流れが混合され、前記第1の流れを収容する前記第1の導管はフランジを装着しており、および前記混合チャンバーの面は、前記第2の流れを収容する第2の導管と流体連通しており、前記第2の流れは前記送達装置を迂回し前記送達装置の下流の位置で前記第1の流れと接触し前記第3の流れを形成し;
前記第3の流れは、化学センサーを含み;
前記化学センサーは混合チャンバーの下流に配置されており、かつ前記混合チャンバーから出てくる流体流れの化学的内容を分析するように作動するものであり;前記化学センサーは前記第1の比例バルブと連絡しており;
前記第1の圧力/流量コントローラーは前記化学センサーおよび前記第1の比例バルブと作動的に連絡しており;
前記圧力センサーは前記送達装置と流体連通しており;前記圧力センサーは前記第2の流れのフローを制御するように作動するものであり;
前記送達システムはキャリアガスの単位体積あたり実質的に一定のモル数の前駆体蒸気を複数の反応器に送達するように作動するものであり、前記複数の反応器は前記送達システムと連通している;
送達システム。
IPC (2件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/455 ( 200 6.01)
H01L 21/205
, C23C 16/455
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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