特許
J-GLOBAL ID：201603018638546105
地震探査収集システムに使用するためのMEMSベース容量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
西島 孝喜
, 弟子丸 健
, 田中 伸一郎
, 大塚 文昭
, 須田 洋之
, 上杉 浩
, 近藤 直樹
, 大浦 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-076586
公開番号（公開出願番号）：特開2016-145837
出願日： 2016年04月06日
公開日（公表日）： 2016年08月12日
要約：
【課題】加速度計を含む地震探査収集システムを含む装置を提供する。【解決手段】装置は、加速度計を含む地震探査収集システムを含む。加速度計は、容量MEMSベースセンサ、コントローラ、及び電荷増幅器を含む。センサは、試験質量と、第1の信号を受け取る入力端子と、試験質量に電気的に接続されて第2の信号を供給する出力端子とを含む。コントローラによって調整される第1の信号は、センサに対する平衡復元力を制御し、センサに第2の信号を供給させる。電荷増幅器は、試験質量の位置を示す第3の信号を供給する。電荷増幅器は、第1の信号が平衡復元力を制御してセンサに第2の信号を供給させる時間中に第2の信号を連続的に受け取る入力端子を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
装置であって、
加速度計を含む地震探査収集システム、
を含み、
前記加速度計は、
試験質量と、第1の信号を受け取る入力端子と、該試験質量に電気接続されて第2の信号を供給する出力端子とを含み、該第1の信号が、センサに対する平衡復元力を制御してセンサに該第2の信号を供給させる容量MEMSベースセンサ、及び
前記第1の信号が前記平衡復元力を制御して前記センサに前記第2の信号を供給させる時間中に該第2の信号を連続的に受け取る入力端子を有し、前記試験質量の位置を示す第3の信号を供給する電荷増幅器、
を含む、
ことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G105AA02
, 2G105BB01
, 2G105CC01
, 2G105EE02
, 2G105EE03
, 2G105GG01
, 2G105LL07
, 2G105NN01
