電子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-011911
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152798
特許番号：特許第5851256号
出願日： 2012年01月24日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料に向けて電子線を放出する電子線源と、電子線源から放出された電子線を試料上で集束するための対物レンズと、該電子線を偏向するための偏向器と、電子線の照射に応じて試料から発生する特性X線の検出を行うX線検出器とを備えた電子線装置において、対物レンズの電子線通過領域内には電子線が通過するインナーチューブが配置されており、該インナーチューブの試料側の端部に試料と対向するX線集光素子が設置され、対物レンズを間に挟んで試料が位置する側の反対側の位置にX線検出器が配置されていることを特徴とする電子線装置。

IPC (2件)：