特許
J-GLOBAL ID：201603019574224636
検査装置および撮像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019795
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161809
特許番号：特許第5915845号
出願日： 2012年02月01日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査物を検査する検査装置において、
光を発生する光源部と、
前記光源部から発生された前記光の少なくとも一部の光路を折り曲げる第1光学部材と、
前記光に対する透過性を有し、前記被検査物へ非偏光な光が入射するように前記光の偏光度を変化させる第2光学部材と、を有する照明装置と、
前記被検査物が載置されるステージと、
前記照明装置からの光で照明された前記被検査物からの出力を検出し、該検出の結果に基づいて前記被検査物を検査する検査部と、
を備え、
前記第2光学部材は、前記光源部の中心から射出された光が前記照明装置の光軸に実質的に平行になる位置に配置されることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01M 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 27/14 ( 200 6.01)
H01L 21/66 B
, G01M 11/00 T
, H01L 27/14 Z
