特許
J-GLOBAL ID：201103004822064000

マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系

発明者：
フィオルカ ダミアン

フィオルカ ダミアン について

, 
ブラニク ヴラダン

ブラニク ヴラダン について


出願人/特許権者：
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー について


代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-533578
公開番号（公開出願番号）：特表2011-504296
出願日： 2008年11月13日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系に関し、照明系(200,700)は、投影露光装置の作動において投影露光装置の投影対物系(40)の物体平面(OP)を照明し、かつ照明系(200,700)は、照明系の作動において生成されて物体平面(OP)内でのみ重ね合わされる互いに点対称な関係にある光成分(10,20)が互いに直交する偏光状態を有するように適応される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系であって、 投影露光装置の作動において照明系(200,700)が、該投影露光装置の投影対物系(40)の物体平面(OP)を照明し、かつ 照明系(200,700)が、照明系の作動において生成されて前記物体平面(OP)内でのみ重ね合わされる互いに点対称な関係にある光成分(10,20)が互いに直交する偏光状態を有するように適応される、 ことを特徴とする照明系。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 19/00
FI (3件)：
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 501 ,  G02B19/00
Fターム (11件)：
2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  2H097BB10 ,  2H097GB01 ,  2H097LA12 ,  5F046BA04 ,  5F046CB11 ,  5F046CB15 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01
引用特許：
出願人引用 (17件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM