特許
J-GLOBAL ID：201603019659348717

排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システム及び排気用フィルタユニット

発明者：
本田 重夫

本田 重夫 について

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河野 仁志

河野 仁志 について

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正田 睦生

正田 睦生 について

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瀧川 義就

瀧川 義就 について

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萩原 則行

萩原 則行 について

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小野田 和彦

小野田 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社朝日工業社

株式会社朝日工業社 について


代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-067794
公開番号（公開出願番号）：特開2013-200176
特許番号：特許第5945437号
出願日： 2012年03月23日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 クリーンゾーン内に、そのクリーンゾーン内の空気を排気する排気用フィルタユニットが多数設置された排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システムにおいて、 各排気用フィルタユニット内に、プローブスキャンニング装置を着脱自在に支持するようになし、排気用フィルタユニット群のうち少なくとも一台にプローブスキャンニング装置を設置しておき、各排気用フィルタユニットに、リーク検査装置のエアロゾル吸入用のチューブと上記プローブスキャンニング装置を駆動するケーブルと接続するコネクタを設け、 他の排気用フィルタユニットのフィルタリーク検査を行う際に、上記プローブスキャンニング装置を他の排気用フィルタユニット内に移し替え、移し替えた排気用フィルタユニットの上記コネクタに上記リーク検査装置のチューブとケーブルを接続し、上記排気用フィルタユニットのケーシング内の高性能フィルタの上流側からエアロゾルを流してフィルタリーク検査を行うようにしたことを特徴とする排気用フィルタユニット群のフィルタ検査システム。
IPC (3件)：
G01N 15/08 ( 200 6.01) ,  B01D 46/42 ( 200 6.01) ,  F24F 7/06 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01N 15/08 A ,  B01D 46/42 A ,  F24F 7/06 C
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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