特許
J-GLOBAL ID：200903043577612001

エアフィルタのリーク検査方法

発明者：
鈴木 国夫

鈴木 国夫 について

, 
大塚 一彦

大塚 一彦 について

, 
宮本 浩志

宮本 浩志 について


出願人/特許権者：
株式会社テクノ菱和

株式会社テクノ菱和 について

, 
ニッタ株式会社

ニッタ株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041027
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243626
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 正常部からの透過粒子のカウントがリーク部からの漏れ粒子のカウントと誤認される確率を一定の信頼度にて小さくすることができ、誤判定によるリーク検査時間の増加を最小にできる、エアフィルタのリーク検査方法を提供する。【解決手段】 ISO規格案のエアフィルタリーク検査において、リーク検査所要時間Ttを直接計算し、その最小化を実現する許容観測値Kaを求める第1の統計的手法と、フィルタ正常部からのカウント値と、リークからのカウント値に十分な差を設けるよう諸元を調整する第2の統計的手法を示す。またスキャン測定で決着が着かなかった場合に行う静止再測定の所要時間を最小とする逐次検定法を二通り示す。更に、スキャン試験で決着が着かなかった疑惑位置にプローブを正確に戻す方法を示す。
請求項（抜粋）：
エアフィルタの上流側に、濃度Cの粒子を供給し、エアフィルタの下流面に沿って、パーテイクルカウンタの吸引プローブを速度Sにて走査させ、粒子の漏れ(リーク)を検出する、ここで該吸引プローブは駆動機構によりX-Y方向に一定速度で動作され、またリーク部の許容漏れ率をP、吸引プローブの走査方向の幅をDとすると、速度Sは次式で表される、S=F×C×P×D/N ...式(1)(ただし、式中、Nはパーテイクルカウンタによる最大許容リークのT秒間のカウント期待値、Fはパーテイクルカウンタの単位時間あたりの吸引流量、T=D/Sである。)許容観測値Kaの値を次のように決める、母集団の区間推定に関する統計原理を用いて、Kaより、信頼区間の上限限界(UCL)を求め(ただし、このUCLは、最大許容リークのカウント期待値Nとする)、上式(1)よりSを求め、このSにてプローブを走査してKaを越えるカウントがなければ合格と判定しながらリーク検査を行うエアフィルタのリーク検査方法であって、以下の工程を包含するエアフィルタのリーク検査方法:(ア)リークのない正常部の透過率Fを求める工程、(イ)パラメータKaを0から順に1ずつ増やし、フィルタ1台あたりのリーク検査所要時間Ttを計算し、Ttが増加に転じた一つ手前のKaを採用する工程、(ウ)このKaの値から前述の方法でNを求め、式(1)を満足するように、S及び/又はCの値を調整する工程、(エ)これらのS及び/又はCにてリーク検査を行う工程。
IPC (2件)：
G01N 15/08 ,  B01D 46/00
FI (2件)：
G01N 15/08 A ,  B01D 46/00 Z
Fターム (2件)：
4D058MA51 ,  4D058UA16
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示
引用文献：
審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM