特許
J-GLOBAL ID：201603019713295136
センサモジュール及び物理量測定センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-253110
公開番号（公開出願番号）：特開2015-111067
特許番号：特許第6030539号
出願日： 2013年12月06日
公開日（公表日）： 2015年06月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導入される被測定流体の圧力により変位する変位部を有するダイアフラム部及びこのダイアフラム部と一体に形成された筒状部を備えたセラミック製のセンサモジュールであって、
前記ダイアフラム部のうち被測定流体が接触する面とは反対側の面である平面に電子部品が配置され、
この電子部品は、前記平面のうち前記変位部に相当する平面から前記ダイアフラム部の板厚方向に離れて配置された部品本体と、この部品本体に基端部が接続され前記ダイアフラム部の平面上であって前記変位部の平面とは異なる位置に先端部が接合されたリードフレームと、を有することを特徴とするセンサモジュール。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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