圧力センサおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-263706
公開番号（公開出願番号）：特開2006-078379
出願日： 2004年09月10日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】未調整の最終製品形態の状態で外部から電気的に調整することができる圧力センサを提供する。【解決手段】ダイヤフラム21に歪ゲージ抵抗を被着したセラミックの感圧素子20と、ASIC31で構成した信号増幅部30と、2本の電源端子42,43および1本の出力端子44が設けられたコネクタ40とを最終製品形態に組み立てる。調整時は、ASIC31の出力バッファの出力をハイインピーダンス状態にして出力端子44を入力ポートに切り換え、それを介してASIC31に調整データを入力し、不揮発性のレジスタに書き込む。これにより、組み立て前の個々の調整が不要になり、組み立て時に感圧素子20が受ける応力の影響を含めた全体調整が可能になる。調整データの書き込みによる電気的な調整なので、最終出力特性に関係なく、圧力センサの作り置きが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

感圧部に歪ゲージ抵抗を被着してなる感圧素子と、前記感圧素子の出力信号を増幅して出力する信号増幅部と、2本の電源端子および1本の出力端子が設けられたコネクタとを備え、前記信号増幅部は、特性を補正するための調整データを記憶する不揮発性の記憶手段を有する圧力センサにおいて、前記信号増幅部は、前記出力端子に接続されて、出力状態が前記感圧素子の増幅された出力信号を出力する状態またはハイインピーダンス状態に切り換えることができる出力バッファと、前記出力端子に接続され、前記出力端子を介した所定のデジタル信号の入力に応答して前記出力バッファを前記ハイインピーダンス状態に切り換えるとともに前記調整データの前記記憶手段への書き込みを行う入出力インタフェース部とを有し、外部にて生成された前記調整データを前記出力端子より入力して前記記憶手段へ書き込むようにしたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 27/00

FI (1件)：

G01L27/00

Fターム (11件)：

2F055AA39 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055DD09 , 2F055EE12 , 2F055FF02 , 2F055FF18 , 2F055FF45 , 2F055GG32 , 2F055GG36

引用特許：

出願人引用 (3件)

圧力センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-355976 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテッド
実開平2-89339号公報
圧力センサの調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-312498 出願人：株式会社テージーケー

審査官引用 (6件)

センサ回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-252282 出願人：株式会社デンソー
力学量検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-193149 出願人：株式会社デンソー
物理量センサのトリミング回路
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-074464 出願人：株式会社デンソー

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