特許

J-GLOBAL ID：201603019961390498

磁気記録媒体用スパッタリングターゲット

発明者： 久保木 孔之 ,  丸子 智弘 ,  鈴木 雄 ,  齊藤 伸 ,  日向 慎太朗 ,  高橋 研
出願人/特許権者： 株式会社フルヤ金属 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (2件)： 今下 勝博 ,  岡田 賢治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-154252
公開番号（公開出願番号）：特開2016-030857
出願日： 2014年07月29日
公開日（公表日）： 2016年03月07日
要約：

【課題】本発明の目的は、従来よりもPt含有量が低く、高い密度を有し、高いKu及び高い規則度を有する記録膜を作製することができる磁気記録媒体用スパッタリングターゲットを提供することである。【解決手段】本発明に係る磁気記録媒体用スパッタリングターゲットは、FeとPtとを含有する磁性合金に少なくともIr若しくはPdのいずれか一方又は両方を磁性合金に固溶する金属として含有し、更にカーボン、及び、酸化物として金属酸化物若しくは酸化ケイ素のいずれか一方又は両方を含有する焼結体であり、前記磁性合金が、Ptを35〜45at.%、Ir若しくはPdのいずれか一方又は両方を合計で4〜10at.%含有し、残部をFe及び不可避的不純物とする組成を有し、焼結体の相対密度が90%以上である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

FeとPtとを含有する磁性合金に少なくともIr若しくはPdのいずれか一方又は両方を該磁性合金に固溶する金属として含有し、更にカーボン、及び、酸化物として金属酸化物若しくは酸化ケイ素のいずれか一方又は両方を含有する焼結体であり、 前記磁性合金が、Ptを35〜45at.%、Ir若しくはPdのいずれか一方又は両方を合計で4〜10at.%含有し、残部をFe及び不可避的不純物とする組成を有し、 前記焼結体の相対密度が90%以上であることを特徴とする磁気記録媒体用スパッタリングターゲット。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C22C 5/04 ,  C22C 1/05 ,  G11B 5/851 ,  G11B 5/65

FI (5件)：

C23C14/34 A ,  C22C5/04 ,  C22C1/05 A ,  G11B5/851 ,  G11B5/65

Fターム (32件)：

4K018AA02 ,  4K018AB01 ,  4K018AB07 ,  4K018AC01 ,  4K018BC12 ,  4K018EA01 ,  4K018EA11 ,  4K018EA21 ,  4K018FA06 ,  4K018KA29 ,  4K018KA63 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA26 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5D006BB01 ,  5D006BB06 ,  5D006BB07 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA05 ,  5D112AA17 ,  5D112AA24 ,  5D112FA04 ,  5D112FB02 ,  5D112FB04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 記録媒体用スパッタリングターゲットと磁気記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-119888   出願人：株式会社東芝
• スパッタリングターゲットの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-352030   出願人：石福金属興業株式会社