特許
J-GLOBAL ID:201603019971543934

切削装置及び鋸刃ブレードの破損検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤元 亮輔
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-127953
公開番号(公開出願番号):特開2013-252572
特許番号:特許第5934582号
出願日: 2012年06月05日
公開日(公表日): 2013年12月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ワークを切削する切削装置であって、 前記ワークを切削する鋸刃ブレードと、 前記鋸刃ブレードを回転させるモータを備えたスピンドルと、 前記鋸刃ブレードを間に挟むように配置された発光部および受光部を備え、前記鋸刃ブレードを回転させた状態で該発光部からの光を該受光部で受光した信号を光電変換部に導くことにより光電変換を行う光電センサと、 前記光電センサの出力信号の最大値と最小値との差である基準振幅に基づいて設定される破損閾値を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第1のブレード破損判定部と、 前記光電センサの出力信号のうち前記鋸刃ブレードの歯に対応する信号と、前記基準振幅の中心に設定されるトリガレベルと、を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第2のブレード破損判定部と、 前記基準振幅を用いて、前記鋸刃ブレードの形状を判定する形状判定部と、 前記第1のブレード破損判定部と、前記第2のブレード破損判定部と、前記形状判定部と、を用いて、前記鋸刃ブレードのエラーを検出する制御部と、 を有することを特徴とする切削装置。
IPC (3件):
B24B 49/12 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (3件):
B24B 49/12 ,  B24B 27/06 M ,  H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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