特許
J-GLOBAL ID：201603020282322929
物理量センサーおよび電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-016240
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156121
特許番号：特許第5979344号
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板の上方に設けられている揺動体と、
前記揺動体を支持し、第1軸に沿って配置されている支持部と、
前記基板に設けられ、前記揺動体に対向配置されている検出電極と、
を含み、
前記揺動体は、前記第1軸に平面で直交する第2軸と交差する一対の側面を備え、
前記一対の側面の少なくとも一方には、突起部が設けられ、
前記突起部の厚みは、前記揺動体の厚みと同じである、物理量センサー。
IPC (4件)：
G01P 15/125 ( 200 6.01)
, G01P 15/08 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
G01P 15/125 Z
, G01P 15/08 101 B
, G01P 15/08 102 D
, H01L 29/84 Z
, B81B 3/00
