特許
J-GLOBAL ID：201603020811549381
基板処理装置および基板処理方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049071
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187229
特許番号：特許第5860731号
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】凝固対象液および前記凝固対象液よりも高温の融解液を供給する液供給手段を有し、前記液供給手段により基板上に供給された前記凝固対象液を凝固した後、前記液供給手段により供給される前記融解液により前記凝固対象液の凝固体を融解して除去する基板処理装置であって、
略水平に保持された前記基板の上面に対向する基板対向面と、前記基板の上面中央部に向けて前記液供給手段により供給される前記凝固対象液および前記融解液を吐出する液供給ノズルとを有する雰囲気遮断手段と、
前記液供給手段により前記基板上に供給された前記凝固対象液に、前記凝固対象液の凝固点以下の凝固用気体を供給する凝固用気体供給ノズルと、
前記凝固用気体供給ノズルを支持するアームを有し、当該アームとともに前記凝固用気体供給ノズルを移動させるノズル駆動機構と、
前記凝固用気体供給ノズルまたは前記アームに設けられ、前記液供給ノズルから排出される前記凝固対象液を受ける排液受け部と、
を備え、
前記液供給手段は、前記基板上への前記凝固対象液の供給を停止した後、前記凝固対象液の凝固体への前記融解液の供給を開始するまでの間に、少なくとも前記液供給ノズル内に残留している前記凝固対象液の残液を前記液供給ノズルから排出し、
前記ノズル駆動機構は、前記凝固対象液の残液が前記液供給ノズルから排出されている間、前記排液受け部を前記基板の上方かつ前記液供給ノズルの下方に配置することを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/304 641
, H01L 21/304 648 K
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
