板状部材を搬送するエンドエフェクタ及び該エンドエフェクタを備える基板搬送用ロボット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人有古特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-024754
公開番号（公開出願番号）：特開2013-158895
特許番号：特許第5909105号
出願日： 2012年02月08日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1方向に配列されて、各々が板状部材を前記第1方向に交差する平面内にて夫々保持し且つ夫々移動可能に構成された少なくとも2つのハンドと、該少なくとも2つのハンドの動作を制御する制御装置と、を備え、各ハンドは、前記板状部材を前記平面内で保持するように互いに離間した2つのフィンガを有し、各フィンガは前記板状部材を保持する保持位置と、該板状部材の保持を解除する退避位置との間を独立して移動可能に構成されており、前記制御装置は、各フィンガの保持位置と退避位置との間の移動動作を個別に制御するように構成されており、各フィンガは長軸を有し、両方の端部の間で前記板状部材を前記平面内で保持するように構成され、 1のフィンガと該フィンガに対して前記第1方向に配列された他のフィンガは、前記制御装置によって、前記保持位置と退避位置との間を互いに反対側の位置に向けて動き、両フィンガは保持位置と退避位置間の移動途中にて、互いに長軸方向に沿って重なった状態の維持を避け、又は互いに全く重ならないように制御される、板状部材を搬送するエンドエフェクタ。

IPC (3件)：

B25J 15/00 ( 200 6.01) , B25J 15/08 ( 200 6.01) , H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B25J 15/00 D , B25J 15/08 C , B25J 15/08 D , H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-171049 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-234274 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
加工物移送装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-529332 出願人：アクセリステクノロジーズインコーポレーテッド

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審査官引用 (4件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-171049 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-234274 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
加工物移送装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-529332 出願人：アクセリステクノロジーズインコーポレーテッド

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