特許
J-GLOBAL ID：200903074813204257

基板状態検出装置

発明者：
斉藤 雅行

斉藤 雅行 について

, 
後藤 博彦

後藤 博彦 について


出願人/特許権者：
川崎重工業株式会社

川崎重工業株式会社 について


代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-242479
公開番号（公開出願番号）：特開2006-060135
出願日： 2004年08月23日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：
【課題】 ハンドに保持した基板のずれを精度よく検出する基板検出装置を提供する。【解決手段】 保持領域に配置されたウェハ21の縁部50の厚み方向一方Z1に投光部43が配置され、ウェハ21の縁部50の厚み方向他方Z2に回帰反射型リフレクタ47が配置される。また投光部43から投光される光が、第1光軸51に沿って進む。ウェハ21がずれて縁部の位置が変位した場合に受光部44の受光状態が変化する。第1光軸51がウェハ21の厚み方向表面に対して略垂直に延びることによって、第1光軸51がウェハ21の厚み方向表面に略平行に延びる場合に比べて、保持領域に対するウェハ21のずれが小さい場合であっても、判定手段48は、ウェハ21が保持領域に配置されたか否か、すなわちウェハ21のずれを精度よく検出することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を保持するロボットハンドに備えられ、ロボットハンドに設定される保持領域に基板が配置されたか否かを検出する基板状態検出装置であって、 保持領域に基板が配置された場合にその基板の縁部に対向し、保持領域よりもハンド厚み方向一方に配置され、基板の厚み方向表面に対して略垂直に延びて保持領域を挿通する第1光軸に沿って進む光を投光する投光部と、 保持領域に基板が配置された場合にその基板の縁部に対向し、保持領域よりもハンド厚み方向他方に配置され、第1光軸に沿って進む光を予め定める第2光軸に沿って進むように反射する反射体と、 反射体から第2光軸に沿って進む光を受光可能な受光部と、 受光部の受光状態に基づいて、基板が保持領域に配置されたか否かを判定する判定部とを含むことを特徴とする基板状態検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/68 B ,  B25J15/08 U ,  B65G49/07 C ,  B65G49/07 G
Fターム (25件)：
3C007AS01 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007KS05 ,  3C007KS30 ,  3C007KV12 ,  3C007KX08 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA27 ,  5F031JA40 ,  5F031LA15
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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