特許
J-GLOBAL ID：201603021019773513

基板収納容器

発明者：
小川 統

小川 統 について

, 
藤森 義昭

藤森 義昭 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-157410
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022434
特許番号：特許第5921371号
出願日： 2012年07月13日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 丸い基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納された基板を支持する支持体と、容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉じる蓋体を施錠する施錠機構とを含み、容器本体を略箱形に形成してその相対向する両端面をそれぞれ開口部に形成し、蓋体に、容器本体の開口部内周に接触してシール状態を形成するシールガスケットを取り付けるとともに、蓋体の側面には、施錠機構用の施錠溝を形成した基板収納容器であって、 支持体を、容器本体の内側部に設けられる装着壁と、この装着壁に設けられる棚片と、この棚片の表面に設けられ、基板の裏面周縁部を略水平に支持する支持突部と、棚片の表面に設けられ、支持突部に支持された基板の周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁とから構成し、支持突部の表面よりも位置ずれ防止壁の表面を高位に位置させ、位置ずれ防止壁の基板の周縁側部に接触可能な接触面を基板の周縁側部に応じて湾曲させ、 施錠機構を、容器本体の開口部における周縁側方に支持され、施錠位置と解錠位置との間を移動可能な被操作部材と、容器本体の開口部における周縁側方と被操作部材との間に介在され、被操作部材の移動に応じて容器本体の少なくとも両端面方向に移動する施錠部材とから構成し、施錠部材の容器本体に対向する対向部に、容器本体を貫通して蓋体の施錠溝に接触する施錠爪を形成し、施錠部材の被操作部材に対向する対向部に、被操作部材の複数のカム溝にそれぞれスライド可能に嵌まるカム突起を形成し、 施錠機構の被操作部材が施錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部に対向していた蓋体を移動させ、容器本体の開口部と蓋体とを接触させて蓋体のシールガスケットをシール状態とし、施錠機構の被操作部材が解錠位置に移動した場合には、施錠爪が容器本体の開口部から蓋体を離隔するよう移動させて蓋体のシールガスケットのシール状態を解除し、容器本体の開口部から蓋体を一方向に取り外すようにしたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • 中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-056362   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ウェハーキャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298859   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
  • 板状物搬送容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-181166   出願人：淀川ヒューテック株式会社, 株式会社ダイヘン, 村田機械株式会社
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審査官引用 (13件)
  • 中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-056362   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ウェハーキャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298859   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
  • 板状物搬送容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-181166   出願人：淀川ヒューテック株式会社, 株式会社ダイヘン, 村田機械株式会社
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