特許
J-GLOBAL ID:201603021304949277

計測装置および計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-072255
公開番号(公開出願番号):特開2016-191648
出願日: 2015年03月31日
公開日(公表日): 2016年11月10日
要約:
【課題】高精度なエラー判定を行うことが可能な計測装置および計測方法を提供する。【解決手段】計測対象の現在の形状情報から当該計測対象に形成されたエラー判定領域(摩耗領域や、欠損領域)の評価値(摩耗量や、欠損サイズ)を算出し、計測対象の現在の形状情報から算出したエラー判定領域の評価値と、当該計測対象の過去の形状情報から算出した当該エラー判定領域の評価値と、を比較することによって推定した当該エラー判定領域の将来の評価値(推定摩耗量や、欠損サイズが大きくなっていくか否かなど)と、に基づいてエラー判定を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
計測対象の形状情報を取得する形状情報取得手段と、 前記形状情報取得手段により取得された形状情報を記憶するデータ記憶手段と、 前記形状情報取得手段により取得された前記計測対象の現在の形状情報と、前記データ記憶手段に記憶されている当該計測対象の過去の形状情報と、に基づいてエラー判定を行うデータ比較手段と、 前記データ比較手段によるエラー判定の結果を通知するエラー通知手段と、を備え、 前記データ比較手段は、 前記計測対象の現在の形状情報から算出した前記エラー判定領域の評価値と、当該計測対象の過去の形状情報から算出した当該エラー判定領域の評価値と、を比較することによって推定した当該エラー判定領域の将来の評価値に基づいてエラー判定を行うことを特徴とする計測装置。
IPC (2件):
G01B 21/00 ,  G01B 11/24
FI (2件):
G01B21/00 W ,  G01B11/24 K
Fターム (19件):
2F065AA53 ,  2F065AA63 ,  2F065CC34 ,  2F065FF05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08 ,  2F065SS09 ,  2F069AA66 ,  2F069AA68 ,  2F069BB21 ,  2F069CC06 ,  2F069DD02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG09 ,  2F069NN09 ,  2F069QQ03
引用特許:
審査官引用 (3件)

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