針谷達

ハリガイトオル | Harigai Toru

所属機関・部署：
職名：特任准教授
ホームページURL (1件)： https://c-arp.gifu-u.ac.jp/

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , プラズマ応用科学 , 電気電子材料工学

研究キーワード (10件)：プラズマプロセス , プラズマCVD , プラズマエッチング , プラズマナノテクノロジー , PVD , ダイヤモンドライクカーボン , 炭素系薄膜 , 機能性材料 , X線反射率 , 表面処理

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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論文 (62件)：

Takahiro Bando, Katsunoshin Takahashi, Shusaku Teshima, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Kentaro Ide, Tomoaki Oishi, Mitsuo Tsume. 細管内スパーク放電照射プラズマ処理水の成分経時変化における細管径依存性. IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials. 2023. 143. 10. 329-334
Takahiro Bando, Tsubasa Ito, Hayate Wakisaka, Yuki Miyahara, Takeshi Aizawa, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Motohisa Hiratsuka, Shiro Maki. Statistical analysis of cloud layers and solar irradiations for all seasons in Toyohashi city, Japan. Renewable Energy and Environmental Sustainability. 2023. 8. 18-18
Development of gas-injected pulsed plasma CVD method using Ar/C₂H₂ mixed gas for ultra-high-rate diamond-like carbon deposition. Japanese Journal of Applied Physics. 2023
Jumpei Kito, Yoshinori Saiki, Kento Homma, Seiya Watanabe, Takahiro Bando, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Hiroki Gima, Hiroaki Sugita. DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films. Japanese Journal of Applied Physics. 2023
Takahiro Bando, Yoshinori Saiki, Jumpei Kito, Yuki Hashimoto, Toru Harigai, Hirofumi Takikawa, Hiroki Gima, Hiroaki Sugita. DC vacuum arc deposition with open winding-path anode assembled with C-ring plates. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. 3. 030901-030901

MISC (25件)：

書籍 (1件)：

講演・口頭発表等 (275件)：

水面へのキャピラリスパーク放電における水成分の経時変化
(令和5年電気学会全国大会 2023)
コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるTiN膜の作製
(第70回応用物理学会春季学術講演会 2023)
ECR酸素イオンビームを用いた超精密切削用ダイヤモンド工具再生技術の開発
(R4年度電気学会関西支部高専研究発表会 2023)
超音波振動を利用した液滴室温ナノインプリントによる医療MEMS用DLCマイクロギヤの作製
(SEMICON Japan 2022 2022)
液滴室温ナノインプリントシステムを用いた機能性DLCデバイスの開発と半導体人材育成
(SEMICON Japan 2022 2022)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (11件)：

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受賞 (2件)：

2021/03 - 応用物理学会 Poster Award DLC高速成膜のための同軸ガス供給パルスアークプラズマジェット源の開発
2017/03 - ISPlasma2017/IC-PLANTS2017 Organizing Committee, Program Committee ISPlasma2017 Best Presentation Award "Fabrication of Nitrogen-Containing DLC Film by Fliltered Arc Deposition"

所属学会 (5件)：

ニューダイヤモンドフォーラム , 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 , 表面技術協会 , 電気学会 , 応用物理学会

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

針谷 達