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J-GLOBAL ID：201902232364808607   整理番号：19A1370284

周期的N-DLC/WC積層構造を持つ導電性耐摩耗膜の作製

著者 (12件)： 爲國公貴 (豊橋技科大) ,  針谷達 (豊橋技科大) ,  出貝敏 (豊橋技科大) ,  谷本壮 (豊橋技科大) ,  須田善行 (豊橋技科大) ,  滝川浩史 (豊橋技科大) ,  鷹合滋樹 (石川工試) ,  安井治之 (石川工試) ,  金子智 (神奈川県産総研) ,  國次真輔 (岡山県工技セ) ,  神谷雅男 (伊藤光学) ,  瀧真 (オンワード技研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10a-M113-4  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに ICチップの製品検査に用いるコンタクトピンの表面保護膜として導電性耐摩耗コーティングが求められている。本研究室では,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜や窒素含有DLC(N-DLC)膜1),また,それらの積層膜2)よりも高い...【本文一部表示】

シソーラス用語： *被覆層 ,  *ドーピング ,  炭化タングステン ,  積層構造 ,  薄膜 ,  *被覆 ,  マグネトロンスパッタリング ,  電気抵抗率 ,  *DLC被覆 ,  *窒素ドーピング ,  *耐摩耗性被覆
準シソーラス用語： 導電性膜 ,  *耐摩耗性コーティング

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (6件)： DLC ,  WC ,  積層構造 ,  導電性 ,  耐摩耗 ,  作製