抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・本研究室では,機能性流体などの機能性材料を応用し,高機能な先進マイクロデバイス,およびそれを応用したマイクロロボットなどの先進メカノマイクロシステムの研究開発を実施。
・最近の研究事例:1)ソフト電気粘性(ER)マイクロアクチュエータシステム。2)交流圧力源を用いた複数ERマイクロアクチュエータシステム。3)交流電気浸透(ACEO)を応用したマイクロポンプ。4)フォトリソグラフィ技術を用いた誘電エラストマ(DE)アクチュエータ。
・交流圧力源を用いた,ERマイクロフィンガシステムを図示。