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J-GLOBAL ID：201702213410888609   整理番号：17A1374612

光スピンホール効果エリプソメトリの開発(第2報)表面粗さ計測への応用

著者 (3件)： 藤田寛之 (大阪大 大学院) ,  水谷康弘 (大阪大 大学院) ,  高谷裕浩 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C16  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノメートルオーダの表面粗さやその光学定数を求めるために,光スピンホール効果を利用した量子エリプソメトリを提案している。ここでは,測定試料表面で反射した際に分離した光のシフト量を弱測定することにより,従来のエリプソメトリより高精度な表面粗さ計測が期待できる。第2報では,サブナノメートルオーダの金薄膜をサンプルとした原理検証を行った後に,SiO₂基板表面のRa0.3nmの差異を検出できたので測定原理とともに報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： Hall効果 ,  スピン-軌道相互作用 ,  *偏光解析法 ,  表面粗さ ,  プロフィルメータ ,  金属薄膜 ,  光

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

引用文献 (4件)：

• M. Onoda, et al.: Hall effect of light, Phys. Rev. Lett., 93 (2004) 083901-1.
• R.W Collins, et al.: Advances in multichannel spectroscopic ellipsometry, Thin. Sol. Film., 313-314 (1998) 18.
• Y. Aharonov, et al.: How the result of a measurement of a component of the spin of a spin - 1/2 particle can turn out to be 100, Phys. Rev. Lett., 60 (1991) 1351.
• O. Hosten and P. Kiat: Observation of the Spin Hall Effect of light via weak measurement, Science, 319 (2008) 787.

タイトルに関連する用語 (6件)： スピンホール効果 ,  エリプソメトリ ,  開発 ,  表面粗さ ,  計測 ,  応用