抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナノメートルオーダの表面粗さやその光学定数を求めるために,光スピンホール効果を利用した量子エリプソメトリを提案している。ここでは,測定試料表面で反射した際に分離した光のシフト量を弱測定することにより,従来のエリプソメトリより高精度な表面粗さ計測が期待できる。第2報では,サブナノメートルオーダの金薄膜をサンプルとした原理検証を行った後に,SiO
2基板表面のRa0.3nmの差異を検出できたので測定原理とともに報告する。(著者抄録)