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J-GLOBAL ID：201702213770172004   整理番号：17A0311629

交互圧力源を有するMEMSベース多重電気レオロジー曲げアクチュエータシステム【Powered by NICT】

An MEMS-based multiple electro-rheological bending actuator system with an alternating pressure source

著者 (5件)： Miyoshi Tomoya (Graduate School, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Yoshida Kazuhiro (Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Kim Joon-wan (Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Eom Sang In (Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Yokota Shinichi (Precision and Intelligence Laboratory, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 245  ページ： 68-75  発行年： 2016年07月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,複数のマイクロアクチュエータとマイクロスケール応用のための交互圧力源を有する革新的なMEMS(電気レオロジー(ER)曲げアクチュエータシステムを提案した。ER曲げアクチュエータシステムは作動流体として液晶を用いた同期制御弁による交互流の修正に基づいている。供給と戻り管の数とサイズを可能にする還元された。さらに,交互圧力システムの作動原理は,MEMS製作のための適切なポンプ,弁と油圧アクチュエータのような全ての重要な油圧機器を示した。本論文では,高アスペクト比と三次元構造を特徴とする曲げ部品は,適切な外力を持つ水超音波処理によって溶解したポリ(ビニルアルコール)(PVA)犠牲層を用いた分離プロセスにより達成された新しく開発されたPDMSマイクロモールディングプロセスで実現した。ERマイクロバルブと呼ばれる制御弁は,標準シリコン微細加工により作製し,その特性を調べた。作製した1.6mm長ER曲げアクチュエータは1.1mm(曲率半径1.2mm)の変位と1.1秒の立ち上がり時間を達成したことを双方向運動を示した。さらに,先端変位対印加電圧の特性も提示した。実験結果は,このシステムが大きなストロークを用いた高出力,高速・小型運動の制御システムのための有望であることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 高速度 ,  ケイ素 ,  *エレクトロレオロジー ,  制御系 ,  微細加工 ,  マイクロアクチュエータ ,  同期制御 ,  *MEMS ,  *アクチュエータ ,  調節弁
準シソーラス用語： 印加電圧 ,  マイクロバルブ ,  三次元構造 ,  油圧アクチュエータ ,  *圧力源 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： マイクロアクチュエータ ,  交互圧力源 ,  多重アクチュエータシステム ,  電気粘性流体(ERF) ,  MEMS

分類 (4件)： 配管材料,弁  (QD05020E) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  流体式制御機器  (IC02030J) ,  油圧・空気圧機器  (QD04020X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧力源 ,  MEMS ,  多重 ,  電気レオロジー ,  曲げ ,  アクチュエータ