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J-GLOBAL ID：201702214700286343   整理番号：17A1548701

正方極を用いたAC電気浸透マイクロポンプに関する研究スリット電極アレイ【Powered by NICT】

A study on an AC electroosmotic micropump using a square pole - Slit electrode array

著者 (5件)： Yoshida Kazuhiro (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology (FIRST), Institute of Innovative Research (IIR), Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Sato Tomoyuki (Graduate School, Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Eom Sang In (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology (FIRST), Institute of Innovative Research (IIR), Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Kim Joon-wan (Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology (FIRST), Institute of Innovative Research (IIR), Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan) ,  Yokota Shinichi (Tokyo Institute of Technology, R2-42, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 265  ページ： 152-160  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SS ACEO MPと呼ばれる四角柱-スリット電極アレイを用いた新しいAC電気浸透マイクロポンプを提案した。AC電圧は固定電極を用いた水などの液体に適用したとき,AC電気浸透(ACEO)は対流を生成する。ACEO流れは低交流電圧による電解を伴わずに安定であるが,広い応用のためのマイクロポンプを実現するために,一方向流れのための特別な機構が必要である。この目的のために,従来のデバイスは非対称電極,誘導電荷電気浸透と進行波電圧を利用した。実用的な応用に関して,ACEOによる高滑り速度が必要である。提案したポンプは四角柱-スリット電極アレイから成り,主にスリット電極上の滑り速度による全流を効率的に生成する。提案したポンプは可動部分,効率的な流発生,および圧力の容易な改善ない簡単な柱状構造と配列構造のため流れ速度を特徴とする。最初に,SS ACEO MPの3D FEM(有限要素法)シミュレーションを行い,特性を明らかにした。負荷下での効果的な滑り速度を最大にはしないのがサイズパラメータを明らかにした。第二に,SS ACEO MPは,電鋳を含むMEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)製造プロセスで作製した。第三に,SS ACEO MPに実験を行った。SS ACEO MPの特性を明らかにした。26V_ppの印加電圧で,ユニットサイズ0.2×0.2×0.05mm~3で実現した1.6mm/sの最大有効滑り速度。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 三次元 ,  交流電圧 ,  滑り速度 ,  角柱 ,  有限要素法 ,  非対称性 ,  *電気浸透 ,  MEMS ,  シミュレーション ,  *マイクロポンプ ,  生産工程 ,  流速 ,  進行波 ,  *電極アレイ ,  柱 ,  構造要素

著者キーワード (5件)： 電気浸透 ,  AC電気浸透(ACEO) ,  マイクロポンプ ,  界面動電ポンプ ,  一方向流

分類 (1件)： ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 極 ,  Ac ,  電気浸透 ,  マイクロポンプ ,  研究 ,  スリット ,  電極アレイ