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J-GLOBAL ID：201702217425149582   整理番号：17A0993073

金属Cd源を用いたCdTeの気相エピタクシーの熱力学的解析【Powered by NICT】

Thermodynamic analysis of vapor-phase epitaxy of CdTe using a metallic Cd source

著者 (4件)： Iso Kenji (Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan) ,  Iso Kenji (R&TD Center, Tsukuba Plant, LED Materials Department, Mitsubishi Chemical Corporation, Ushiku, Ibaraki 300-1295, Japan) ,  Murakami Hisashi (Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan) ,  Koukitu Akinori (Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 470  ページ： 122-127  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 費用効果の高い金属Cdとテルル化ジアルキルを用いたCdTe成長の熱力学的解析を行った。平衡状態にある汚染源域での主要な蒸気種はグループII前駆体のガス状CdおよびVI族前駆体のTe_2とH_2Teした。CdTe蒸着のための駆動力は650°Cでもまだ陽性これは,ガス状CdからのCdTe形成は熱力学的に進行することを示した。さらに,計算はCdTeは,より高い温度で分解し,II/VI比は,成長温度,実験結果と一致する限界を増加させる増加させることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *熱力学 ,  前駆体 ,  *カドミウム ,  蒸着 ,  *テルル化カドミウム ,  平衡状態 ,  駆動力 ,  *気相成長 ,  汚染源 ,  成長温度 ,  費用対効果

著者キーワード (4件)： A1熱力学的性質 ,  A3気相エピタクシー ,  B1カドミウム化合物 ,  B2半導性II-VI材料

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： Cd ,  CdTe ,  気相エピタクシー ,  力学的解析