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J-GLOBAL ID：201702217794347536   整理番号：17A0190595

容量結合プラズマにおける液粒電荷の調査

Investigation of liquid droplet charges in Capacitively-Coupled Plasma

著者 (3件)： MORIYAMA Makoto (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  NAKAMURA Keiji (Chubu Univ., Kasugai, JPN) ,  OGAWA Daisuke (Chubu Univ., Kasugai, JPN)
資料名： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
巻： 34th  ページ： ROMBUNNO.P2-31  発行年： 2017年01月16日 
JST資料番号： L4449B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  プラズマ ,  *電荷 ,  *液滴 ,  アルゴン ,  時間発展 ,  *帯電
準シソーラス用語： *容量結合プラズマ

分類 (1件)： 膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

物質索引 (1件)： テトラエチルオルトシリカート

タイトルに関連する用語 (4件)： 容量結合プラズマ ,  液 ,  電荷 ,  調査