研究者

J-GLOBAL ID：200901090910816095 更新日: 2020年05月15日

中村圭二

ナカムラケイジ | Nakamura Keiji

所属機関・部署：
職名：助教授

研究分野 (3件)：電力工学 , プラズマ科学 , プラズマ応用科学

研究キーワード (4件)：電力工学 , プラズマ理工学 , Electric Power Engineering , Science and Engineering of Plasma

競争的資金等の研究課題 (6件)：

1999 - 超伝導電力機器の開発
1999 - Development of Superconductor Electric Power Devices
1994 - 反応性プラズマ中のラジカル計測
1994 - 材料プロセス用高密度プラズマの生成・制御
Radical Diagnostics in Reactive plasmas.

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MISC (15件)：

Direct Measurements of Sheath-Accelerated Secondary Electrons for Monitoring the in Cident Ion Flux in Plasma Immersion Ion Implantation. Plasma Sources Science and Technology. 2002. 11
Direct Measurements of Sheath-Accelerated Secondary Electrons for Monitoring the in Cident Ion Flux in Plasma Immersion Ion Implantation. Plasma Sources Science and Technology. 2002. 11
Alternating Bombardment Technique for Wall Surface Control in Depositive Plasma Processing(共著). Journal of Vacuum Science and Technology A. 2000. 18. 1. 137-142
Plasma Absorption Probe for Measuring Electron Density in an Environment Soiled with Processing Plasma(共著). Japanese Journal of Applied Physics. 1999. 38. 9A. 5262-5266
In-situ Monitoring of Incident Ion Flux Based on High-Energy Secondary Electron Measurements in Plasma Immersion Ion Implantation(共著). Abstract of 5th International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation. 1999

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書籍 (2件)：

In Situ Process Monitoring in Plasma Immersion Ion Implantation Based on Measurements of Secondary Electron Emission Coefficient
Surface and Coating Technology 2002
In Situ Process Monitoring in Plasma Immersion Ion Implantation Based on Measurements of Secondary Electron Emission Coefficient
Surface and Coating Technology 2002

学歴 (2件)：

- 1990 名古屋大学工学研究科電気工学
- 1990 名古屋大学

学位 (1件)：

博士(工学)

受賞 (2件)：

1993 - 電気学会
1991 - 電気学会

所属学会 (3件)：

プラズマ・核融合学会 , 応用物理学会 , 電気学会

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