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J-GLOBAL ID：201702221075811068   整理番号：17A1907009

総説:アクティブ走査プローブ:高速イメージングと新たなナノ加工のための用途の広いツールキット

Review Article: Active scanning probes: A versatile toolkit for fast imaging and emerging nanofabrication

著者 (10件)： Rangelow Ivo W. (Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Ivanov Tzvetan (Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Ahmad Ahmad (Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Kaestner Marcus (Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Lenk Claudia (Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Bozchalooi Iman S. (Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139) ,  Xia Fangzhou (Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139) ,  Youcef-Toumi Kamal (Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139) ,  Holz Mathias (Nano Analytik GmbH, Ehrenbergstrasse 1, 98693 Ilmenau, Germany) ,  Reum Alexander (Nano Analytik GmbH, Ehrenbergstrasse 1, 98693 Ilmenau, Germany)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 6  ページ： 06G101-06G101-14  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノテクノロジーの分野における最近の進歩に伴って,ナノスケールでの測定と操作への要求が,かつてないほど厳しくなっている。原子間力顕微鏡では,測定タスクの他の側面(特性アスペクト比,要求される領域,許容可能なプローブ-試料相互作用力など)の考慮なしに,高速性能だけでは十分ではない。本論文では,これらの要求と,それらを満足する可能性の最も高い研究の方向性を議論した。自己検知および自己作動プローブの小型化に向けた取組みと,アクティブカンチレバーアレイによるスケールアップとに向けた取組みを詳しく述べる。特定の応用分野を標的としたチップのカスタム化に沿ったアクティブプローブの作製プロセスを提示した。ナノ加工の有望な応用として,電界放出走査型プローブリソグラフィを紹介した。さらにその制御と設計手法を論じた。ここでは,多層マイクロカンチレバーなどのマイクロアクチュエータと,曲げスキャナなどのマイクロアクチュエータを,新世代走査型プローブ顕微鏡の領域と速度との両方の要求を同時に満足させるために組合わせた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡 ,  *撮像 ,  *ナノメータ加工 ,  *原子間力顕微鏡 ,  片持梁 ,  *マイクロアクチュエータ
準シソーラス用語： *高速イメージング ,  カンチレバー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 総説 ,  走査 ,  プローブ ,  高速イメージング ,  ナノ加工 ,  用途 ,  ツールキット