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J-GLOBAL ID：201702221859212810   整理番号：17A1036941

VUV/O_3照射の影響を受けた低温度SAMで修飾したPOM直接ボンディングに関する研究【Powered by NICT】

A study on low temperature SAM modified POM direct bonding affected by VUV/O₃ irradiation

著者 (5件)： Fu Weixin (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Ma Bo (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Kuwae Hiroyuki (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Shoji Shuichi (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan) ,  Mizuno Jun (Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： LTB-3D  ページ： 69  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： polyoxymethelene(POM)の直接結合は,表面改質法として自己集合単分子層(SAM)を用いて100°Cで可能であった。(3-アミノプロピル)トリエトキシシラン(APTES)及び(3-グリシジルオキシプロピル)トリメトキシシラン(GOPTS)を本研究に適用した。異なるVUV/O3照射条件を用いた表面改質は異なる結合強度を示した。添加では,最大強度との結合条件は,0.37MPaの平均強度を有していた。この技術はマイクロ/ナノ電気機械システム(MEMS/NMES)のための包装に使用されることが期待された,バイオ/医療機器など。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 付着強さ ,  医療機器 ,  *低温 ,  表面改質 ,  MEMS ,  自己集合単分子膜
準シソーラス用語： 機械システム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  有機けい素化合物  (CF08030C)

タイトルに関連する用語 (7件)： VUV ,  低温度 ,  SAM ,  修飾 ,  POM ,  ボンディング ,  研究