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J-GLOBAL ID：201702223153809000   整理番号：17A0208663

走査電子顕微鏡法によるナノ多孔質材料の解析

Analysis for Nano Porous Materials by Scanning Electron Microscopy

著者 (6件)： 作田裕介 (日本電子) ,  作田裕介 (山形大 理) ,  朝比奈俊輔 (日本電子) ,  石崎学 (山形大 理) ,  冨樫貴成 (山形大 理) ,  栗原正人 (山形大 理)
資料名： ゼオライト  (Zeolite News Letters)
巻： 34  号： 1  ページ： 19-27  発行年： 2017年01月31日 
JST資料番号： L1799A  ISSN： 0918-7774  CODEN： ZEOREM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 低加速電圧SEMの発展は目覚ましく,加速電圧1kVであっても1nmを切る空間分解能を実現できるようになった。一方,近年のゼオライトに代表されるナノ多孔質材料は複雑化および微細化が進んでおり,その構造を正確に解析するために高い空間分解能が必要とされている。しかしながら,SEMによる高空間分解能観察だけでなく,分析技術もゼオライトの解析には重要であると言える。本研究ではナノ多孔質材料に対してSEMを用いた低加速電圧法,低真空法による解析および軟X線化学状態分析を行ったので,その原理および応用例を紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *ナノ材料 ,  減速 ,  *エネルギー分散X線分光分析 ,  X線分光法 ,  発光
準シソーラス用語： *ナノ多孔質材料 ,  低真空SEM ,  *エネルギー分散X線分光法 ,  軟X線共鳴発光分光法

分類 (4件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  コロイド化学一般  (CB11010C) ,  合成鉱物  (CD01040K) ,  その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (8件)：

• L. Reimer, Image Formation in Low-Voltage Scanning Electron Microscopy, SPIE Press (1993).
• M. Suga, S. Asahina, Y. Sakuda, H. Kazumori, H. Nishiyama, T. Nokuo, V. Alfredsson, T. Kjellman, S. M. Stevens, H. S. Cho, M. Chod, L. Han, S. Che, Mi. W. Anderson, F. Schüth, H. Deng, O. M. Yaghi, Z. Liu, H. Y. Jeong, A. Stein, K. Sakamoto, R. Ryoo, O. Terasaki, Prog. Solid State Ch., 42, 1-21 (2014).
• H.Takahashi, N. Handa, T. Murano, M. Terauchi, M. Koike, T. Kawachi, T. Imazono, M. Koeda, T. Nagano, H. Sasai, Y. Oue, Z. Yonezawa and S. Kuramoto, Micros.Microanal., 16 (supple. 2), 34 (2010).
• M.Terauchi, H. Takahasi, H. Nobuo, T. Murano, M. Koike, T. Kawachi, T. Imazono, M. Koeda, T. Nagano, H. Sasai, Y. Oue, Z. Yonezawa, S. Kuramoto, J. Electron Microsc., 61, 1 (2012).
• S&T出版,粉粒体/多孔質材料の計測とデータの解釈/使い方,pp.221-223(2015).

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査電子顕微鏡法 ,  ナノ多孔質材料 ,  解析