抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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VLSI稼働時のチップの温度と電圧を測定するため,リングオシレータ(RO:Ring Oscillator)を利用したデジタルセンサが提案されている。デジタルセンサの測定精度は,一般に製造バラツキが影響するが,それを低減する手法として,初回に特定の温度・電圧の測定条件1点における測定値を補正に利用するキャリブレーション手法が有力である。微細テクノロジでは,トランジスタにおける閾値電圧の温度依存性の影響が顕在化して,RO周波数の温度依存性や電圧依存性の傾向が逆転する場合もあるため,1点の測定値による補正では微細テクノロジ特有のRO特性や製造バラツキの影響による特性変動に十分に対応することができない。本論文では,異なる温度2点の測定条件に対する測定値を利用したキャリブレーション手法について考察し,測定精度等の評価を行う。また,本手法に用いる温度2点の測定点の選択方法が測定精度に与える影響を評価し,補正に用いる2点の適切な選択方法について検討する。(著者抄録)