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J-GLOBAL ID:201702227340446848   整理番号:17A1374973

裏面露光による電極アレー構造の製作(第2報)-熱処理による金薄膜の密着性向上-

著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: 秋季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.N19  発行年: 2017年09月05日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究の目的は,三次元生体組織を用いたバイオセンサを実現するための新たな針状電極アレーの開発である。これまでに,二段階裏面露光を行うことで,簡便に堅牢な段付き針状構造を製作する手法を開発したが,SU-8に対する金の密着性が悪いという問題点があった。そこで,本報ではSU-8表面に蒸着した金薄膜をガラス転移点付近まで加熱し密着性を向上することで,少ない工程数で安定した電極アレー構造製作を実現した。(著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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