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J-GLOBAL ID：201702228000265257   整理番号：17A0576893

リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発

著者 (5件)： CHOI Seungman (東京工大) ,  河野健人 (東京工大) ,  HEMTHAVY Pasomphone (東京工大) ,  高橋邦夫 (東京工大) ,  齋藤滋規 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N39  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 梁集合体を有する双極型静電チャックはプラスチックフィルム,布,レンズなどの曲率を持った誘電体を静電力により操作することを可能にする。既存研究では吸着面の大面積化に対応可能な造形法が未確立であった。本研究では,導体-誘電体-導体の三層を材料とし,ドライエッチングを用いたリソグラフィ技術による造形法で製作することにより,実現するモジュールのプロトタイプの性能評価を行い,提案手法の有効性を示す。(著者抄録)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  梁 ,  凝集体 ,  チャック ,  静電気応用 ,  モジュール ,  *ドライエッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• R.Dhelika et al., Smart Mater Struct., Vol.25, pp.055037, 2016.
• 田尻ら, 2016年度精密工学会春李大会学術講演会講演論文集, pp.505-506 2016.

タイトルに関連する用語 (6件)： リソグラフィ ,  梁 ,  集合体 ,  静電チャック ,  モジュール ,  開発