Liang Yingshuang について
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology について
Zhang Yuru について
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology について
Wang Younian について
School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology について
Chinese Physics B について
イオン密度 について
プラズマ について
プラズマ密度 について
プラズマ処理 について
半径方向 について
電場 について
膜厚 について
誘電体 について
不連続性 について
誘電率 について
二次元 について
プラズマリアクタ について
容量結合 について
容量結合プラズマ について
大面積 について
容量N_2/Ar放電 について
流体シミュレーション について
誘電材料 について
プラズマ径方向均一性 について
表示機器 について
固体デバイス製造技術一般 について
Ar について
放電 について
大面積 について
容量結合プラズマ について
均一性 について
誘電材料 について