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J-GLOBAL ID：201702228509688338   整理番号：17A0148404

光応用・視覚分野の研究開発の動向

著者 (1件)： 篠田之孝 (日本大学理工学部電気工学科)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 137  号： 1  ページ： 17-18(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,光応用・視覚分野の動向,光応用・視覚技術委員会の活動,光応用・視覚研究会の研究報告について概説した。光応用・視覚分野の動向につては,テラヘルツの分野,リソグラフィの分野,および生体光イメージング分野での技術開発状況を紹介した。研究報告については,2015年に光応用・視覚研究会にて発表された論文の中から,「高厚膜パターンのマイクロ部品への応用」と「KTN光スキャナーを用いた高速En face OCTの開発」の2件を紹介した。

シソーラス用語： *視覚 ,  *リソグラフィー ,  *光干渉断層計 ,  *情報処理 ,  *光学的測定 ,  *半導体集積回路 ,  *パターン形成 ,  レーザリソグラフィー ,  エキシマレーザ ,  電子ビームリソグラフィー ,  ナノメータ加工 ,  膜厚 ,  側壁 ,  *トモグラフィー ,  カリウム化合物 ,  タンタル酸塩 ,  ニオブ酸塩 ,  断層画像 ,  *光偏向器
準シソーラス用語： 視覚処理 ,  光応用計測 ,  液浸リソグラフィー ,  フッ化アルゴンエキシマレーザ ,  EUVリソグラフィー ,  インプリントリソグラフィー ,  タイムドメインOCT ,  FD-OCT

著者キーワード (8件)： 光応用 ,  視覚 ,  リソグラフィ ,  OCT ,  light application ,  visual science ,  lithography ,  optical coherence tomography

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学情報処理  (BD03060T)

引用文献 (2件)：

• (1) 森實祐太・堀内敏行:「投影露光時のデフォーカスを利用した高厚膜パターンのマイクロ部品への応用」, 電気学会光応用・視覚研資, LAV-15-18 (2015)
• (2) 新屋佑介・渡邊秀行・近江雅人・今井欽之・上野雅浩・豊田誠治・阪本 匡:「KTN光スキャナーを用いた高速En face OCTの開発」, 電気学会光応用・視覚研資, LAV-15-16 (2015)

タイトルに関連する用語 (5件)： 応用 ,  視覚 ,  研究 ,  開発 ,  動向