抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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セラミックコーティングの重要な応用分野として表面の硬質化があり,耐摩耗性改善に広く利用されている。これらの薄膜の性能改善を目指し種々の技術開発(材料およびプロセス)が行われているが,得た膜の機械的性質評価に関しては,古典的な摩耗試験が利用されており,より定量性が高く,膜特性が得られる評価技術が望まれている。本稿では,この要求に応えるマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法について解説した。MSE評価法の概要,TiCN/TiN二層膜の解析,AlCrSiN傾斜膜の評価,DLC膜の水素含有量とエロージョン率の関係,および硬質薄膜の多面的評価について記した。