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J-GLOBAL ID:201702229279716224   整理番号:17A1837315

ドライコーティング技術の最新動向 マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法を用いた膜強度評価・解析

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巻: 68  号: 12  ページ: 702-706  発行年: 2017年12月01日 
JST資料番号: G0441B  ISSN: 0915-1869  CODEN: HYGIEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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セラミックコーティングの重要な応用分野として表面の硬質化があり,耐摩耗性改善に広く利用されている。これらの薄膜の性能改善を目指し種々の技術開発(材料およびプロセス)が行われているが,得た膜の機械的性質評価に関しては,古典的な摩耗試験が利用されており,より定量性が高く,膜特性が得られる評価技術が望まれている。本稿では,この要求に応えるマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法について解説した。MSE評価法の概要,TiCN/TiN二層膜の解析,AlCrSiN傾斜膜の評価,DLC膜の水素含有量とエロージョン率の関係,および硬質薄膜の多面的評価について記した。
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分類 (2件):
分類
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セラミック・磁器の性質  ,  セラミック材料試験 
引用文献 (12件):

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