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J-GLOBAL ID：201702229349750438   整理番号：17A1090625

物理学及びベイジアン統計を用いてプラズマエッチレシピの作成を加速する方法

A method to accelerate creation of plasma etch recipes using physics and Bayesian statistics

著者 (5件)： CHOPRA Meghali J. (Univ. Texas at Austin, TX) ,  VERMA Rahul (Univ. Texas at Austin, TX) ,  LANE Austin (Univ. Texas at Austin, TX) ,  WILLSON C. G. (Univ. Texas at Austin, TX) ,  BONNECAZE Roger T. (Univ. Texas at Austin, TX)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10149  ページ： 101490X.1-101490X.8  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3つの事例研究(1:高密度O₂系に対するフォトレジストのエッチ速度予測;2:高密度O₂系に対するフォトレジスト異方性の最適レシピ予測;及び3:実験による高密度O₂系に対するエッチ速度を最大化する最適レシピの予測)の結果は,RODEoを使用すると,エッチレシピを最適化するために必要な実験数の低減が可能であることを示した。RODEo過程予測の正確度を更に向上させる潜在的探索に対するいくつかのルートがあった。第1は,RODEoデータベース内のプラズマモデル及び表面動力学モデルは,プラズマ系内の非一様性,プラズマ系における付加的気体及び壁動力学,代替の表面反応機構を考慮に入れて拡大できた。第2に,RODEo DOEが最大感度を有するパラメータの推論を優先するように,グローバルプラズマモデルのパラメータ感度解析を先験的に行うことができた。

シソーラス用語： Bayes推定 ,  *プラズマエッチング ,  フォトレジスト ,  加工速度 ,  プラズマ ,  モデル
準シソーラス用語： エッチ速度 ,  プラズマモデル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 物理学 ,  ジアン ,  統計 ,  プラズマエッチ ,  レシピ ,  加速