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J-GLOBAL ID：201702230283881240   整理番号：17A0431021

単一原料の化学蒸着析出により作製したZnO皮膜の評価と感知性能

Characterization and sensing properties of ZnO film prepared by single source chemical vapor deposition

著者 (3件)： Escalante German (Depto. de Fisica de Materiales, Facultad de Fisicas, Univ. Complutense, 28040 Madrid, Spain) ,  Juarez Hector (Centro de Investigacion en Dispositivos Semiconductores, Univ. Autonoma de Puebla, 72570 Puebla, Mexico) ,  Fernandez Paloma (Depto. de Fisica de Materiales, Facultad de Fisicas, Univ. Complutense, 28040 Madrid, Spain)
資料名： Advanced Powder Technology  (Advanced Powder Technology)
巻： 28  号： 1  ページ： 23-29  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W0255A  ISSN： 0921-8831  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO皮膜の成長に新規な析出手法を用いた。ガス感知用途に対する単一原料の化学蒸着(SSCVD)により,ガラス素地上に良好な品質の皮膜が得られた。300,350,400°Cの種々な温度でZnO皮膜の性質を検討した。X線回折の結果はすべての析出皮膜は多結晶性であることを示した。皮膜の形態,構造,光学的,電気的性質をX線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(AFM),カソードルミネッセンス(CL),ホール効果法により検討した。析出皮膜の形態は素地の温度の上昇に伴い,柱状粒子から並行板状に変化した。析出温度の上昇と共に緑と赤の相対発光強度の顕著な増加が観察された。ガス感知挙動に対する電気的性質も同様に検討した。COの特別な場合に,300°Cの作動温度は最良の感度を生じるように思われた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  化学蒸着 ,  X線回折 ,  検出 ,  *ルミネセンス ,  ガスセンサ ,  原子間力顕微鏡 ,  多結晶 ,  Hall効果
準シソーラス用語： *酸化亜鉛フィルム

著者キーワード (5件)： ZnO film ,  SSCVD ,  X-ray diffraction ,  Cathodoluminescence ,  Sensing

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (39件)：

• R. Zhou, G. Hu, R. Yu, C. Pan, Z.L. Wang, Piezotronic effect enhanced detection of flammable/toxic gases by ZnO micro/nanowire sensors, Nano Energy 12 (2015) 588-596.
• M.E. Franke, T.J. Koplin, U. Simon, Metal and metal oxide nanoparticles in chemiresistors: does the nanoscale matter?, Small 2 (2006) 36-50
• P.K. Basu, P. Bhattacharyya, N. Saha, H. Saha, S. Basu, The superior performance of the electrochemically grown ZnO thin films as methane sensor, Sens. Actuators, B 133 (2008) 357-363.
• J. Zhang, S. Wang, Y. Wang, Y. Wang, B. Zhu, H. Xia, X. Guo, S. Zhang, W. Huang, S. Wu, NO₂ sensing performance of SnO₂ hollow-sphere sensor, Sens. Actuators, B 135 (2009) 610-617.
• I. Hayakawa, Y. Iwamoto, K. Kikuta, S. Hirano, Gas sensing properties of platinum dispersed-TiO₂ thin film derived from precursor, Sens. Actuators, B 62 (2000) 55-60.

タイトルに関連する用語 (8件)： 原料 ,  化学蒸着 ,  析出 ,  作製 ,  ZnO ,  皮膜 ,  評価 ,  感知