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J-GLOBAL ID：201702230306303374   整理番号：17A0576591

光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法(第1報)-ポータブル干渉計の高精度化-

著者 (5件)： 原昌平 (東大) ,  SUDATHAM Wiroj (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大) ,  松本弘一 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D09  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 三次元測定機は機械部品の三次元形状等を測定するために産業で広く利用されており,その性能は定期的に検査される必要がある。従来はブロックゲージなどによりこの検査を行っていたが,製造や管理などの面で問題を抱えていた。そこで我々は,光コムパルス干渉計を用いて高速かつ高精度に三次元測定機を検査する手法を確立することを目的とする。本発表では,干渉計の高精度化の際に重要となる問題について検討した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *計測器 ,  *機械要素 ,  形態 ,  *ブロックゲージ ,  *周波数 ,  *干渉計
準シソーラス用語： 三次元測定器 ,  機械部品 ,  三次元形状 ,  光コム

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

引用文献 (1件)：

• 高増潔「光コムによる絶対距離測定と三次元計測技術」,『光技術コンタクト』2016年5月20日発行, pp.18-19, 日本オプトメカトロニクス協会

タイトルに関連する用語 (8件)： 光コム ,  パルス ,  干渉計 ,  三次元測定機 ,  検査 ,  手法 ,  ポータブル ,  高精度化